Αντλία ξηρού κενού BAOSI με υδρόψυξη GRM601, 600m³/h, ≤0.15Pa, 1.9+1.9kW

Χαρακτηριστικά:

• Χαμηλή κατανάλωση ενέργειας,
• Υψηλή ταχύτητα άντλησης,
• Ισχυρή ικανότητα απομάκρυνσης σκόνης,
• Η ικανότητα μεταφοράς αερίων διεργασίας που συμπυκνώνονται εύκολα.
• Η σταθερή ταχύτητα άντλησης την καθιστά κατάλληλη για διεργασίες με μεγάλους όγκους εξαγωγής, προσφέροντας υψηλή αξιοπιστία και χαμηλό κόστος λειτουργίας και συντήρησης. 

• Χρησιμοποιεί έναν σύγχρονο κινητήρα μόνιμου μαγνήτη για χαμηλότερη κατανάλωση ενέργειας.
• Η προηγμένη δομή του ρότορα ενισχύει την ικανότητα απομάκρυνσης σκόνης της αντλίας.
• Ανθεκτική στη σκόνη και τους υδρατμούς στο αντλούμενο αέριο;
• Συμπαγής δομή, μικρό συνολικό μέγεθος και υψηλή απόδοση συστήματος;
• Ολοκληρωμένες λειτουργίες προστασίας και ισχυρή αυτοπροσαρμογή;
• Χαμηλοί κραδασμοί και θόρυβος κατά τη λειτουργία. ένα προηγμένο σύστημα στεγανοποίησης χειλιών και λαβυρίνθου, σε συνδυασμό με καθαρισμό με άζωτο, εξασφαλίζει αποτελεσματικά έναν θάλαμο αντλίας χωρίς λάδι, βελτιώνοντας την καθαριότητα κενού του θαλάμου διεργασίας.
• Οι λειτουργίες τηλεχειρισμού και παρακολούθησης είναι δυνατές μέσω της διεπαφής I/O και της διεπαφής RS-485 (πρωτόκολλο Moudbus).

ΤΕΧΝΙΚΗ ΠΑΡΑΜΕΤΡΟΣ

Καμπύλη άντλησης

ΣΧΕΔΙΟ ΔΙΑΣΤΑΣΕΩΝ 

Εφαρμογή:

• Στη βιομηχανία ημιαγωγών, καθαρές, μέτριες και σκληρές διεργασίες περιλαμβάνουν χάραξη, εμφύτευση ιόντων και CVD.
• Στη βιομηχανία φωτοβολταϊκών, να είστε προσεκτικοί με τους κλιβάνους ανάπτυξης και τις διεργασίες κατασκευής κυψελών.
• Στη βιομηχανία μπαταριών ιόντων λιθίου, διεργασίες όπως η ξήρανση κενού, η πλήρωση ηλεκτρολύτη και η απαέρωση των κυψελών μπαταριών είναι ζωτικής σημασίας.