GRH1202 Άσκητη αντλία κενού 1200 m3/h Βιομηχανική αντλία κενού χωρίς πετρέλαιο για ημιαγωγούς CVD

Αντλία κενού GRH1202 Dry Claw — 1200 m³/h Βιομηχανική λύση χωρίς λάδι

Η GRH1202 είναι μια αντλία κενού ξηρού νυχιού υψηλής απόδοσης από τη σειρά GRH, σχεδιασμένη για απαιτητικές διαδικασίες κατασκευής μπαταριών ημιαγωγών, φωτοβολταϊκών και λιθίου. Με ταχύτητα άντλησης 1200 m³/h και τελική πίεση ≤0,5 Pa, παρέχει αξιόπιστο κενό χωρίς λάδι χωρίς κίνδυνο μόλυνσης.

Βασικά Χαρακτηριστικά

• Μηχανισμός νυχιών χωρίς λάδι:Ο θάλαμος αντλίας δεν περιέχει λάδι ή μέσο εργασίας, εξασφαλίζοντας καθαρό κενό κατάλληλο για ευαίσθητες διεργασίες
• Σύγχρονος κινητήρας μόνιμου μαγνήτη:Παρέχει χαμηλότερη κατανάλωση ενέργειας σε σύγκριση με τους συμβατικούς κινητήρες
• Προηγμένος σχεδιασμός ρότορα:Βελτιωμένη ικανότητα χειρισμού σωματιδίων σκόνης για σκληρά περιβάλλοντα διεργασιών
• Ανθεκτικό σε σκόνη και ατμούς:Μη ευαίσθητο στη σκόνη και τους υδρατμούς στα αντλούμενα αέρια
• Συμπαγές ίχνος:Σχεδιασμός εξοικονόμησης χώρου με υψηλή ενσωμάτωση συστήματος (821 * 420 * 791 mm)
• Ολοκληρωμένη προστασία:Λειτουργίες πλήρους προστασίας με ισχυρή ικανότητα αυτοπροσαρμογής
• Χαμηλοί κραδασμοί και θόρυβος:≤70 dB(A) κατά τη λειτουργία στην τελική πίεση
• Προηγμένη σφράγιση:Το σύστημα σφράγισης χειλιών και στεγανοποίησης λαβύρινθου σε συνδυασμό με καθαρισμό αζώτου αποτρέπει τη μόλυνση λαδιού
• Τηλεχειριστήριο:Διεπαφή I/O και RS485 (πρωτόκολλο Modbus) για απομακρυσμένη παρακολούθηση και έλεγχο

Τεχνικές Προδιαγραφές

Εφαρμογές

• Ημιαγωγός: Etch, Ion Implantation, CVD, ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
• Φωτοβολταϊκά: Κλίβανοι ανάπτυξης κρυστάλλων, κατασκευή ηλιακών κυψελών
• Μπαταρία λιθίου: Στέγνωμα κενού, πλήρωση ηλεκτρολυτών, απαέρωση