GRM201 Πολλαπλής Φάσης Ράτση Σούστης Αντλίας Κενού 200 m3/h Χωρίς Έλαιο Συμπυκνωμένη Αντλία Κενού για την Καθαριότητα Ημιαγωγών

Αντλία κενού πολλαπλών σταδίων GRM201 Roots Dry — 200 m³/h Συμπαγής λύση χωρίς λάδι

Η GRM201 είναι μια συμπαγής αντλία ξηρού κενού πολλαπλών σταδίων ριζών που παρέχει ταχύτητα άντλησης 200 m³/h με εξαιρετικά αθόρυβη λειτουργία στα ≤63 dB(A). Ο σχεδιασμός ριζών πολλαπλών σταδίων χωρίς λάδι το καθιστά ιδανικό για καθαρές και μεσαίες διεργασίες ημιαγωγών, κατασκευή φωτοβολταϊκών και γραμμές παραγωγής μπαταριών λιθίου που απαιτούν κενό χωρίς ρύπους με ελάχιστο αποτύπωμα.

Βασικά Χαρακτηριστικά

• Σχεδιασμός ριζών πολλαπλών σταδίων:Χαμηλή κατανάλωση ενέργειας με υψηλή απόδοση άντλησης
• Εξαιρετικά αθόρυβη λειτουργία:≤63 dB(A) — το πιο αθόρυβο στην κατηγορία του
• Μηχανισμός χωρίς λάδι:Ο θάλαμος αντλίας δεν περιέχει απολύτως κανένα λάδι για συμβατότητα καθαρής διαδικασίας
• Σύγχρονος κινητήρας μόνιμου μαγνήτη:1,9 kW με ανώτερη ενεργειακή απόδοση
• Ανώτερος χειρισμός σκόνης:Προηγμένη δομή ρότορα για βελτιωμένη εξάτμιση σωματιδίων
• Συμπαγές ίχνος:Μόνο 741 * 344 * 466 mm, 150 kg — εύκολη ενσωμάτωση
• Ανθεκτικό σε σκόνη και ατμούς:Μη ευαίσθητο στα υποπροϊόντα επεξεργασίας και στην υγρασία
• Πλήρης προστασία:Ολοκληρωμένα χαρακτηριστικά ασφαλείας με δυνατότητα προσαρμογής
• Έξυπνος έλεγχος:I/O και RS485 (πρωτόκολλο Modbus) για απομακρυσμένη παρακολούθηση
• Τριπλή Σφράγιση:Σφράγιση χειλιών + σφράγισμα λαβύρινθου + εκκένωση αζώτου για εγγυημένη ηλεκτρική σκούπα χωρίς λάδια

Τεχνικές Προδιαγραφές

Εφαρμογές

• Διαδικασίες καθαρού/μεσαίου ημιαγωγού: ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
• Φωτοβολταϊκά: Κλίβανοι ανάπτυξης κρυστάλλων, κατασκευή ηλιακών κυψελών
• Μπαταρία λιθίου: Στέγνωμα κενού, πλήρωση ηλεκτρολυτών, απαέρωση
• Εργαστήρια Ε&Α: Συστήματα κενού πανεπιστημιακής και βιομηχανικής έρευνας