Αντλία κενού GRH6002 Dry Claw Αντλία κενού 6000 m³/h Εξαιρετικά υψηλής χωρητικότητας χωρίς λάδια για διεργασία ημιαγωγών

Αντλία κενού GRH6002 Dry Claw — 6000 m³/h Διάλυμα εξαιρετικά υψηλής χωρητικότητας

Το GRH6001 είναι το κορυφαίο μοντέλο της σειράς GRH, παρέχοντας εντυπωσιακή ταχύτητα άντλησης 6000 m³/h με τελική πίεση ≤0,5 Pa. Διαθέτει είσοδο ISO250, διαμόρφωση διπλού κινητήρα 11+7,5 kW και στιβαρή 846 kg βιομηχανικής κλίμακας, η πιο απαιτητική βιομηχανική κατασκευή, εγκαταστάσεις κατασκευής φωτοβολταϊκών και μπαταριών λιθίου.

Βασικά Χαρακτηριστικά

• Εξαιρετικά υψηλή χωρητικότητα:Ταχύτητα άντλησης 6000 m³/h — το πιο ισχυρό μοντέλο της σειράς GRH
• Τεχνολογία νυχιών χωρίς λάδι:Δεν υπάρχει κίνδυνος μόλυνσης λαδιού για ευαίσθητες διεργασίες ημιαγωγών
• Σύστημα διπλού κινητήρα:Σύγχρονοι κινητήρες μόνιμου μαγνήτη 11+7,5 kW
• ISO250 Μεγάλη είσοδος:Χειρίζεται τη ροή αερίου μεγάλου όγκου για γραμμές παραγωγής μεγάλης κλίμακας
• Ανώτερος χειρισμός σκόνης:Προηγμένη σχεδίαση ρότορα νυχιών για σκληρά περιβάλλοντα
• Κατασκευή βιομηχανικού βαθμού:Στιβαρή κατασκευή 846 kg με αποτύπωμα 1076*516*988 mm
• Χαμηλός θόρυβος:≤70 dB(A) παρά την υψηλή ικανότητα άντλησης
• Προηγμένη σφράγιση:Προστασία τριών στρωμάτων: σφράγιση χειλιών + λαβύρινθος + εκκένωση αζώτου
• Remote Intelligence:I/O + RS485 (Modbus) για πλήρη εργοστασιακή ενσωμάτωση

Τεχνικές Προδιαγραφές

Εφαρμογές

• Ημιαγωγός μεγάλης κλίμακας: χάραξη μεγάλου όγκου, εμφύτευση ιόντων, διεργασίες CVD
• Φωτοβολταϊκά Mega-Factorys: Ανάπτυξη κρυστάλλων και κατασκευή κυττάρων σε κλίμακα
• Gigafactories μπαταριών λιθίου: Ξήρανση κυψελών, πλήρωση ηλεκτρολυτών, απαέρωση
• Επίπεδες οθόνες Κατασκευή: Γραμμές παραγωγής LCD, LED, OLED