GRM602 Αντλία κενού πολλαπλών σταδίων Roots Dry 600 m³/h Oil-free μεσαίας χωρητικότητας Αντλία κενού για διεργασία ημιαγωγών

GRM602 Αντλία κενού πολλαπλών σταδίων Roots Dry — 600 m³/h Διάλυμα μέσης χωρητικότητας

Η GRM601 είναι μια αντλία ξηρού κενού πολλαπλών σταδίων ριζών μεσαίας χωρητικότητας που παρέχει ταχύτητα άντλησης 600 m³/h με εντυπωσιακή τελική πίεση ≤0,15 Pa. Οι διπλοί σύγχρονοι κινητήρες μόνιμου μαγνήτη 1,9+1,9 kW παρέχουν αξιόπιστο κενό χωρίς λάδι και μπαταρία φωτοβολταϊκού για εφαρμογή ημικονίασης.

Βασικά Χαρακτηριστικά

• Σχεδιασμός ριζών πολλαπλών σταδίων:Υψηλή ταχύτητα άντλησης με χαμηλή κατανάλωση ενέργειας
• Διαμόρφωση διπλού κινητήρα:1,9+1,9 kW για ισορροπημένη, αποτελεσματική λειτουργία
• Εξαιρετικά χαμηλή τελική πίεση:≤0,15 Pa για απαιτητικές απαιτήσεις διαδικασίας
• Εξαιρετικά αθόρυβο:≤63 dB(A) — ιδανικό για περιβάλλοντα καθαρού δωματίου
• Μηχανισμός χωρίς λάδι:Μηδενική μόλυνση λαδιών για ευαίσθητες διεργασίες
• Ανώτερος χειρισμός σωματιδίων:Προηγμένη δομή ρότορα για διεργασίες με σκόνη
• Συμπαγής ενσωμάτωση:865 * 344 * 751 χλστ., 260 κιλά
• Μη ευαίσθητο στη σκόνη και στους ατμούς:Αξιόπιστο με υποπροϊόντα διεργασίας και υγρασία
• Προηγμένη σφράγιση:Σφράγιση χειλιών + λαβύρινθος + προστασία καθαρισμού αζώτου
• Remote Intelligence:I/O και RS485 (Modbus) για εργοστασιακό αυτοματισμό

Τεχνικές Προδιαγραφές

Εφαρμογές

• Ημιαγωγός: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
• Φωτοβολταϊκά: Ανάπτυξη κρυστάλλων, κατασκευή ηλιακών κυττάρων
• Μπαταρία λιθίου: Ξήρανση κυψελών, πλήρωση ηλεκτρολυτών, απαέρωση
• Επίπεδη οθόνη: Διαδικασίες κατασκευής LED και LCD