Χαμηλή κατανάλωση ενέργειας,Υψηλή ταχύτητα άντλησης,Ισχυρή ικανότητα απομάκρυνσης σκόνης,Η ικανότητα μεταφοράς αερίων διεργασίας που συμπυκνώνονται εύκολα.Η σταθερή ταχύτητα άντλησης την καθιστά κατάλληλη για διεργασίες με μεγάλους όγκους εξάτμισης, προσφέροντας υψηλή αξιοπιστία και χαμηλό κόστος λειτουργίας και συντήρησης. Είναι κατάλληλη για καθαρές, μέτριες και απαιτητικές διεργασίες όπως PECVD, MOCVD και SiC-CVD σε βιομηχανίες όπως η φωτοβολταϊκή και οι ημιαγωγοί.
| Μοντέλο | Μονάδα | GRM201 | ||
| Ταχύτητα άντλησης | m³/h | 200 | ||
| Τελική πίεση | Pa | ≤0.5 | ||
| Ονομαστική ισχύς | kW | 1.9 | ||
| Ονομαστική τάση | V | 380 | ||
| Νερό ψύξης | Πίεση | MPa | 0.1-0.6 | |
| Ροή | L/min | ≥3 | ||
| Θερμοκρασία | ℃ | 5~30 | ||
| Σύνδεσμος | - | G3/8 | ||
| N2 Καθαρισμός | Πίεση | MPa | 0.2~0.6 | |
| Ροή | L/min | 12~50 | ||
| Σύνδεσμος | - | G1/4 | ||
| Είσοδος | - | ISO63 | ||
| Έξοδος | - | KF25 | ||
| Θόρυβος | dB | ≤63 | ||
| Θερμοκρασία λειτουργίας | ℃ | 5~40 | ||
| Βάρος | kgs | 150 | ||
![]()
Σχέδιο
![]()
Εφαρμογές :
Είναι κατάλληλη για καθαρές, μέτριες και απαιτητικές διεργασίες όπως PECVD, MOCVD και SiC-CVD σε βιομηχανίες όπως η φωτοβολταϊκή και οι ημιαγωγοί.