logo
Σπίτι > προϊόντα >
αντλία κενού ξηρού τύπου
>
GRH3001 Αντλία κενού Dry Claw 3000 m³/h Σχεδιασμός χωρίς λάδι για διεργασία ημιαγωγών

GRH3001 Αντλία κενού Dry Claw 3000 m³/h Σχεδιασμός χωρίς λάδι για διεργασία ημιαγωγών

Λεπτομέρειες για το προϊόν:
Τόπος καταγωγής: Κίνα
Μάρκα: Baosi
Πιστοποίηση: CE
Αριθμό μοντέλου: GRH3001
Λεπτομέρειες
Τόπος καταγωγής:
Κίνα
Μάρκα:
Baosi
Πιστοποίηση:
CE
Αριθμό μοντέλου:
GRH3001
Ταχύτητα άντλησης:
3000 μ ³ /h
Τελική πίεση:
≤0,5 Pa
Ισχύς κινητήρα:
11+7,5 kW
Δυναμικό:
380V/3-Phase
Είσοδος:
ISO 160
Εξοδος:
KF40
Θόρυβος:
≤ 70 DB ((A)
Βάρος:
770 κιλά
Διαστάσεις:
922×516×988 χλστ
Νερό Ψύξης:
0,1-0,6 MPa, 11 L/min
N2 Purge:
0,2-0,6 MPa, 43/97/123 L/min
Επισημαίνω:

High Light

Επισημαίνω:

Υψηλής χωρητικότητας στεγνή αντλία κενού

,

αντλία κενού 3000m3h

,

βιομηχανική αντλία κενού ημιαγωγών

Πληροφορίες συναλλαγών
Ποσότητα παραγγελίας min:
1 Σετ
Τιμή:
USD 12800-18500/Set
Συσκευασία λεπτομέρειες:
Εξαγωγή τυποποιημένης συσκευασίας ξύλινης θήκης
Χρόνος παράδοσης:
20-35 εργάσιμες ημέρες
Όροι πληρωμής:
T/T,L/C
Δυνατότητα προσφοράς:
30 σετ/μήνα
Περιγραφή Προϊόντος
Αντλία κενού GRH3001 Dry Claw 3000 m³/h Αντλία κενού υψηλής χωρητικότητας χωρίς λάδι για βιομηχανική διεργασία ημιαγωγών
GRH3001 Dry Claw Αντλία κενού — 3000 m³/h Λύση υψηλής χωρητικότητας χωρίς λάδι

Η GRH3001 είναι μια αντλία κενού ξηρού νυχιού υψηλής χωρητικότητας που παρέχει ταχύτητα άντλησης 3000 m³/h με τελική πίεση ≤0,5 Pa. Με ισχυρή διαμόρφωση διπλού κινητήρα 11+7,5 kW, χειρίζεται τους πιο απαιτητικούς ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκά, ενώ παράλληλα διατηρεί τη λειτουργία της μπαταρίας χωρίς ρεύμα και τη λειτουργία λιθίου.

Βασικά Χαρακτηριστικά
  • Σχεδιασμός υψηλής χωρητικότητας χωρίς λάδι:Ταχύτητα άντλησης 3000 m³/h με μηδενικό κίνδυνο μόλυνσης λαδιού
  • Σύστημα διπλού κινητήρα:Σύγχρονοι κινητήρες μόνιμου μαγνήτη 11+7,5 kW για μέγιστη απόδοση
  • Προηγμένος ρότορας νυχιών:Ανώτερος χειρισμός της σκόνης και μεγάλη διάρκεια ζωής σε σκληρά περιβάλλοντα
  • Ανθεκτικό σε σκόνη και ατμούς:Μη ευαίσθητο σε σωματίδια και υδρατμούς στα αέρια διεργασίας
  • Συμπαγής ενσωμάτωση:Αποτύπωμα 922 * 516 * 988 mm με στιβαρή κατασκευή 770 kg
  • Ολοκληρωμένη προστασία:Πλήρης ασφάλεια και χαρακτηριστικά παρακολούθησης με προσαρμοστικό έλεγχο
  • Λειτουργία χαμηλού θορύβου:≤70 dB(A) για άνετα περιβάλλοντα εργασίας
  • Σφράγιση πολλαπλών στρώσεων:Σφράγιση χειλιών + σφράγισμα λαβύρινθου + εκκένωση αζώτου για εγγυημένη ηλεκτρική σκούπα χωρίς λάδια
  • Έξυπνη συνδεσιμότητα:I/O και RS485 (πρωτόκολλο Modbus) απομακρυσμένη παρακολούθηση και έλεγχος
Τεχνικές Προδιαγραφές
Μοντέλο GRH3001
Ταχύτητα άντλησης 3000 m³/h
Τελική πίεση ≤0,5 Pa
Ισχύς κινητήρα 11 + 7,5 kW
Δυναμικό 380V (3-φασικό)
Σύνδεση εισόδου ISO 160
Σύνδεση πρίζας KF40
Επίπεδο θορύβου ≤70 dB(A)
Βάρος 770 κιλά
Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) 922 * 516 * 988 χλστ
Πίεση νερού ψύξης 0,1–0,6 MPa
Ροή Νερού Ψύξης 11 λίτρα/λεπτό
Πίεση καθαρισμού N2 0,2–0,6 MPa
Ροή καθαρισμού N2 43/97/123 L/min
Θερμοκρασία λειτουργίας 5–40°C; ≤90% RH
Εφαρμογές
  • Ημιαγωγός:Etch, εμφύτευση ιόντων, CVD (ALD, LPCVD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
  • Φωτοβολταϊκά:Ανάπτυξη κρυστάλλων, διαδικασίες κατασκευής ηλιακών κυττάρων
  • Μπαταρία λιθίου:Ξήρανση κυττάρων υπό κενό, πλήρωση ηλεκτρολυτών, διαδικασίες απαέρωσης