Σπίτι > προϊόντα >

GRM1201 Πολλαπλή στάδιο ρίζες ξηρή αντλία κενού 1200 m3/h Ανεξαρτήτως ελαίου για ημιαγωγούς PECVD MOCVD

Name: GRM1201 Πολλαπλή στάδιο ρίζες ξηρή αντλία κενού 1200 m3/h Ανεξαρτήτως ελαίου για ημιαγωγούς PECVD MOCVD
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

Λεπτομέρειες για το προϊόν:

Τόπος καταγωγής:	Κίνα
Μάρκα:	Baosi
Πιστοποίηση:	CE
Αριθμό μοντέλου:	GRM1201

Λεπτομέρειες

Τόπος καταγωγής:

Κίνα

Μάρκα:

Baosi

Πιστοποίηση:

Αριθμό μοντέλου:

GRM1201

Ταχύτητα άντλησης:

1200 M3/h

Τελική πίεση:

≤0,15 Pa

Ισχύς κινητήρα:

1,9+1,9 kW

Δυναμικό:

380V/3-Phase

Είσοδος:

ISO 160

Εξοδος:

KF25

Θόρυβος:

≤63 dB(A)

Βάρος:

260 κιλά

Διαστάσεις:

865×344×751 χλστ

Νερό Ψύξης:

0,1-0,6 MPa, ≥4 L/min

N2 Purge:

0,2-0,6 MPa, 12-50 L/min

Επισημαίνω:

High Light

Επισημαίνω:

αντλία κενού υψηλής ταχύτητας

1200m3h στεγνή αντλία κενού

ΠΕΚΒΔ MOCVD κενό διεργασίας

Πληροφορίες συναλλαγών

Ποσότητα παραγγελίας min:

1 Σετ

Τιμή:

USD 8500-12500/Set

Συσκευασία λεπτομέρειες:

Εξαγωγή τυποποιημένης συσκευασίας ξύλινης θήκης

Χρόνος παράδοσης:

15-30 εργάσιμες ημέρες

Όροι πληρωμής:

T/T,L/C

Δυνατότητα προσφοράς:

50 σετ/μήνα

Περιγραφή Προϊόντος

GRM1201 Πολλαπλή σταδιακή αντλία στεγνού κενού 1200 m3/h Αντλία κενού υψηλής ταχύτητας χωρίς λάδι για ημιαγωγούς PECVD MOCVD

GRM1201 Πολλαπλή Στάση ρίζες στεγνή αντλία κενού 1200 m3/h Λύση υψηλής ταχύτητας

Η GRM1201 είναι μια αντλία στεγνού κενού πολλών σταδίων υψηλής ταχύτητας με ρίζες που παρέχει ταχύτητα άντλησης 1200 m3/h με τελική πίεση ≤0,15 Pa.Μοιράζεται την ίδια συμπαγή πλατφόρμα με το GRM601 (865 * 344 * 751 mm), 260 kg) αλλά με είσοδο ISO160 για μεγαλύτερη απόδοση, ξεχωρίζει στις εφαρμογές PECVD, MOCVD και απαιτητικές εφαρμογές καθαρών και μεσαίων διεργασιών ημιαγωγών.

Βασικά χαρακτηριστικά

Υψηλής ταχύτητας πολλαπλών σταδίων:1200 m3/h με χαμηλή κατανάλωση ενέργειας
Δύο κινητήρες:1.9+1.9 kW συγχρονισμένοι κινητήρες με μόνιμους μαγνήτες
Εξαιρετική τελική πίεση:≤ 0,15 Pa ικανοποιεί τις απαιτητικές απαιτήσεις της διαδικασίας
Υπερ-σιωπηλή:≤ 63 dB (A)
Μεγάλη είσοδος ISO160:Διαχειρίζεται υψηλή ροή αερίου για εφαρμογές παραγωγής
Καθαρό κενό χωρίς λάδι:Καμία μόλυνση από λάδι για ευαίσθητες διεργασίες ημιαγωγών
Ανώτερος χειρισμός σκόνης:Προηγμένο σχεδιασμό rotor για περιβάλλοντα πλούσια σε σωματίδια
Συμπίεση:Το ίδιο αποτύπωμα με το GRM601
Τριπλό σύστημα σφράγισης:Σφραγίδα + λαβύρινθος + καθαρισμός αζώτου εγγύηση κενού χωρίς λάδι
Έξυπνη σύνδεση:Ε/Υ και RS485 (Modbus) για απομακρυσμένη ολοκλήρωση εργοστασίου

Τεχνικές προδιαγραφές

Σχήμα	GRM1201
Ταχύτητα άντλησης	1200 m3/h
Τελική πίεση (χωρίς καθαρισμό)	≤ 0,15 Pa
Δύναμη κινητήρα	10,9 + 1,9 kW
Τετάρτη	380V (3-Φάσης)
Σύνδεση εισόδου	ISO160
Σύνδεση πρίζας	KF25
Επίπεδο θορύβου	≤ 63 dB (A)
Βάρος	260 κιλά
Μέγεθος (LWH)	865 * 344 * 751 mm
Πίεση νερού ψύξης	00,6 MPa
Ύδρευση ψύξης	≥ 4 L/min
Πίεση καθαρισμού N2	00,6 MPa
Ρυθμιστική ροή N2	12 ̊50 L/min
Θέρμανση λειτουργίας	5°40°C· ≤ 90% RH

Εφαρμογές

Ημιαγωγός: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
Φωτοηλεκτρική ενέργεια: Γραμμές παραγωγής ηλιακών κυττάρων υψηλής απόδοσης
Η μπαταρία λιθίου: ξήρανση κυττάρων σε κλίμακα παραγωγής και επεξεργασία ηλεκτρολυτών
Εικονική οθόνη: παραγωγή OLED και LCD

Ετικέτες:

GRM1201 Πολλαπλή στάδιο ρίζες ξηρή αντλία κενού 1200 m3/h Ανεξαρτήτως ελαίου για ημιαγωγούς PECVD MOCVD

High Light

Επισημαίνω:

αντλία κενού υψηλής ταχύτητας

1200m3h στεγνή αντλία κενού

ΠΕΚΒΔ MOCVD κενό διεργασίας

αντλία κενού turbo,

Αντλία υψηλής κενότητας,

αντλία κενού υψηλής ταχύτητας

Αερόψυκτη Ξηρή Αντλία κενού 1200m³/h, ≤0.15Pa, 1.9kw, GRM1201

Αερόψυκτη Αντλία Ξηρού Κενού 200m³/h, ≤0.5Pa, 1.9kw, GRM201

Αερόψυκτη Ξηρή Αντλία κενού 600m³/h, ≤0.15Pa, 1.9kw, GRM601